MEMS技术研究室简介
• 研究室主任 李新，副教授（博士）
• 研究室成员 揣荣岩，副教授（博士）；关艳霞，副教授（博士）；于慧，讲师； 刘斌，助教。
• 主要研究方向
基于MEMS技术的微传感器研究；功率电子器件研究；大规模集成电路设计。
• 近3年科研情况
承担教育部春晖计划项目、辽宁省自然科学基金项目、辽宁省教育厅一般项目和重点实验室项目各1项，并承担了哈尔滨工业大学863项目和国家自然科学基金项目的部分研究任务，同时承担微系统与微制造辽宁省省级高校重点实验室开放课题1项和高等学校本科教学质量与教学改革工程-创新性实验试点项目1项。发表学术论文20篇，其中SCI收录2篇，EI收录4篇；培养硕士研究生31名，其中已获得硕士学位14名。
• 近年来，和日本群马大员工产系、东北大学化学系、哈尔滨工业大学微电子中心、大连理世界杯押注的软件学微系统与微制造辽宁省省级高校重点实验室、沈阳仪表科学研究院国家传感器工程中心等单位进行了深入合作，承担了多项研究课题，设计与制作了多种生物芯片、湿敏元件、气敏元件和力敏元件，研究工作得到了合作单位的认可。多名青年教师在攻读硕士和博士学位期间，作了大量相关研究工作，发表了多篇高水平文章，受到国内研究专家认可。
