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学术报告:传感器技术发展与现状—MEMS硅基压力传感器制造工艺及基础
2019-04-18 11:00   审核人:   (点击次数)

主讲人:刘沁

讲座内容简介:MEMS在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。本次报告重点介绍MEMS传感器的国内研究进展,以国家传感器工程中心建设为切入点,介绍新型mems传感器的设计、制造及应用。

讲座时间:2019424 10

讲座地点:世界杯押注的软件529会议室

参加人:世界杯押注的软件教师及研究生

主讲人介绍:刘沁,研究员。沈阳仪表科学研究院有限公司副总工程师,传感器国家工程研究中心常务副主任。中国机械工业集团高层次人才,沈阳市领军人才。

从事硅基压力传感器基础工艺及装备技术研究。先后负责并组织完成“七.五”~“十三.五”以来十余项国家部委重大科技攻关、国防科工局重大研保配套、省专项技术基金及市科技创新平台等重大攻关专项。负责并参与撰写了国家科技发展等关于传感器的相关规划。先后获得包括机械部科技进步奖、中国机械工业集团科学技术进步奖、中国机械联合会及中国机械工程学会科技进步奖、辽宁省科技进步奖、沈阳市科技进步奖、沈阳市总工会、沈阳市振兴老工业基地科技成果奖等二十余项。国家发改委“国家工程中心先进工作者”,沈阳市“职工创新楷模”。拥有发明专利、实用新型专利十余项。拥有获批发表执行的国家标准六部及几十余篇科技论文。

中国仪器仪表学会仪表元件分会、中国仪器仪表学会仪表工艺分会理事,中国电子学会敏感技术委员会副主任委员,中国仪器仪表传感器行业协会理事,沈阳市仪器仪表学与自动化学会理事,科技部技术评审组、中国机械工业科学技术奖评审组、中国机械工业项目评审组委员、评审专家。


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